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當前位置:首頁技術文章澤攸科技ZEM系列臺式掃描電鏡:賦能國產*端制造的“微觀之眼

澤攸科技ZEM系列臺式掃描電鏡:賦能國產*端制造的“微觀之眼

更新時間:2025-03-31點擊次數:78

在人工智能、半導體、新材料等前沿領域高速發(fā)展的今天,微觀檢測技術的精度直接決定了*端產業(yè)的突破速度。澤攸科技憑借自主研發(fā)的ZEM系列臺式掃描電鏡,以納米級成像能力與工業(yè)級實用性的雙重優(yōu)勢,正成為國產*端儀器領域的標*產品,為AI芯片、生物醫(yī)藥、新能源等產業(yè)提供關鍵技術支持。  

一、技術突破:從實驗室到生產線的跨越

傳統掃描電鏡因體積龐大、操作復雜、維護成本高昂等問題,長期受限于實驗室場景。澤攸科技通過電子光學系統自主創(chuàng)新與模塊化設計,推出*球*一款可規(guī)?;渴鸬呐_式掃描電鏡系列,實現三大革命性升級:  

1. 空間效率躍遷

ZEM系列體積僅為傳統設備的20%,支持在普通實驗室、移動檢測車甚至芯片封裝產線直接部署。其專業(yè)防震設計與超快抽真空技術,*底打破百級潔凈車間限制,使微觀檢測融入工業(yè)生產全流程。  

2. 多維分析能力

搭載背散射電子(BSE)、二次電子(SE)探測器及能譜儀(EDS),可同步完成:    • 晶體管三維成像:精準定位FinFET/GAA結構中的柵極氧化層缺陷(分辨率達2.5nm);   • 金屬互連層缺陷檢測:識別銅線路孔洞與電遷移痕跡,預防AI芯片斷路風險;    • 重金屬污染溯源:快速鎖定鐵、鎳等污染顆粒,優(yōu)化晶圓制造工藝。  

3. 動態(tài)場景適配  

可選配**原位加熱臺**實時觀測芯片熱膨脹形變,或通過**視頻模式**捕捉材料微觀動態(tài)演變,為半導體可靠性驗證與新材料研發(fā)提供關鍵數據支撐。  

二、產品矩陣:覆蓋全產業(yè)鏈需求

澤攸科技采用階梯式技術布局,推出五大核心機型,滿足科研與工業(yè)場景的差異化需求:  

這一產品矩陣已服務超500家機構,包括中科院、華為海思等頭部單位,推動國產芯片出廠缺陷率下降超30%。  

三、應用場景:驅動產業(yè)升級的創(chuàng)新引擎 

ZEM系列通過“檢測-反饋-工藝優(yōu)化"閉環(huán),在多個領域創(chuàng)造顯著價值:  

1. AI芯片制造 

在深圳“AI公務員"系統中,ZEM系列解決了傳統光學顯微鏡的檢測盲區(qū),將跨部門任務分派效率提升80%,并保障政務AI系統24小時無*障運行。

2. 新能源材料研發(fā) 

對磷酸鐵鋰、碳納米管等材料的30000X級成像分析,助力電池能量密度提升15%,相關成果發(fā)表于《Advanced Engineering Materials》等頂級期刊。 

3. 法醫(yī)與生物醫(yī)學

ZEM18通過硅藻種類分析、花粉痕跡檢測等技術,協助警方破獲多起疑難刑事案件,司法鑒定準確率達99.7%。  

4. 航空航天材料

在金屬增材制造(FDM)領域,ZEM系列實時觀測燒結過程的微觀結構演變,使薄壁金屬零件的能量吸收能力提升40%,相關工藝已應用于衛(wèi)星載荷支架制造。

四、國產化突圍:從追趕到*跑

作為國內少數掌握全鏈條掃描電鏡技術的企業(yè),澤攸科技通過三大戰(zhàn)略實現進口替代: 

1. 人才儲備:組建20余人院士專家團隊,研發(fā)人員占比超60%;  2. 產學研融合:與松山湖材料實驗室等十余家機構聯合攻關,累計獲得專*200余項; 3. 生態(tài)構建:推出電子束光刻機、探針臺等配套設備,形成納米技術全產業(yè)鏈解決方案。  


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